ダウンロード（資料・図面）

SCI関連
	SC カタログ 1 ファイル 994.52 KB ダウンロード
	MCD カタログ 1 ファイル 981.78 KB ダウンロード
	TC カタログ 1 ファイル 776.85 KB ダウンロード
	SM カタログ 1 ファイル 558.67 KB ダウンロード
	MM カタログ 1 ファイル 952.65 KB ダウンロード
	CM カタログ 1 ファイル 483.11 KB ダウンロード
	Swing カタログ 1 ファイル 1.19 MB ダウンロード
	各種マグネットバーカタログ 1 ファイル 1.44 MB ダウンロード
	RAMバーカタログ 1 ファイル 201.83 KB ダウンロード
	eカソードカタログ 1 ファイル 1.08 MB ダウンロード
	エンドロック載替えカタログ 1 ファイル 512.70 KB ダウンロード
	DMPTS カタログ 1 ファイル 492.76 KB ダウンロード
	材料別スパッタレート 1 ファイル 222.16 KB ダウンロード
	世界最小クラスロータリーカソード cMC 1 ファイル 611.93 KB ダウンロード
	Ni（ニッケル）専用特殊強磁場マグネットバー 1 ファイル 466.75 KB ダウンロード
	シュミレーター：スパッタプロセス 1 ファイル 630.50 KB ダウンロード
	シュミレーター：膜厚分布 1 ファイル 839.50 KB ダウンロード

PMI関連

Umiore関連
	ユミコア社製ITOターゲットカタログ 1 ファイル 705.00 KB ダウンロード
	ユミコア社製高純度Siターゲットカタログ 1 ファイル 513.13 KB ダウンロード

Matesy関連
	Matesy社製磁場・ターゲット形状測定機 M-Cat 1 ファイル 534.26 KB ダウンロード
	Matesy社製磁場・ターゲット形状測定機 Tube Inspector 1 ファイル 564.06 KB ダウンロード

グランゼバッハ関連
	グランゼバッハ　Low-E スパッタ装置 1 ファイル 3.89 MB ダウンロード

ベンテラ―関連
	ベンテラ―社製　各種ガラス処理装置 1 ファイル 2.28 MB ダウンロード