ドイツ・ADL社製 水冷式スパッタDC電源 「HXシリーズ:90kW-140kW」

非リアクティブプロセスにおいて、HX 900 からHX 1400のモデル は、非常に信頼性が高く、そして経済的なパワーサプライです。ユーザーの様々なアプリケーションや仕様に合わせ、その電源構成を柔軟に変えることが可能です。アーク制御機構は、重要なプロセス異常を自動で瞬時に検知し、抑制します。調整やプログラミングは一切不要な為、オペレーションを簡素化でき、また異なるターゲットを使用する際も、そのままの初期設定でご利用頂けます。高効率な冷却性能は、エアコンが完備されていない環境下でも長い期間安定してご使用いただけます。

●スペックシートは以下よりダウンロード頂けます。
Datasheet HX 900 – HX 1400_012022

● 特徴
出力90kW-140kW (4モデル)
冷却水
磁気バルブ制御
長さ4メータまでのカソード向け、非リアクティブプロセスに最適
高速酸化除去機能
完全自動アーク制御(40,000アーク/秒まで)
自動出力補正
高いパワー効率(95%)

● モデル一覧

型式 DC-出力 品番
HX 900 90 kW 800 V 180 A 14Z110
HX 1050 105 kW 800 V 210 A 14Z120
HX 1200 120 kW 800 V 240 A 14Z130
HX 1400 140 kW 800 V 280 A 14Z140


メインコントローラMC8及びマスターディスプレイMD4:マスターディスプレイMD4もしくはMD8は、3台もしくは4台のパワーサプライの合計を表示します。

HX900-HX1400 全面

HXシリーズ 寸法