HiPIMS+MFは、HiPIMSパルスの周期のオフタイムに、シンクロされたMFパルスを重畳させます。これはマスター/スレーブの接続方式で実現可能です。

HiPIMSジェネレータは、マスターとなり、シンクロされたMFパルスユニットへ、命令を与えます。
ダウンロード：データシート（英語版）

利点

・成膜レートの改善
・アーキング並びにポイズニングの抑制
・プロセスの安定性
・新規プロセスの開発
HiPIMS + MF

適用例

・大型ガラス基板等への大面積成膜
・センサーへの成膜