MELEC社　HiPIMS + MF + Bias 重畳アプリケーション

HiPIMS + MF + Bias　アプリケーションは、通常のHiPIMSプロセスに対し、そのパルスオフのインターバルに、別のMFパルス系統とバイアスへのパルスをシンクロさせる技術です。このアプローチは、もともとのHiPIMS系統をマスター、インターバルに入れ込む追加MF系統並びにバイアス系統をスレーブにすることで実現可能です。
もともとのHiPIMSジェネレータは、マスターとして、スレーブのMF系統並びにバイアス系統のパルスを制御し、適切にシンクロさせます。