米国・DELCOM 社製 非接触型シート抵抗測定器 「S3 センサー & 873」

特徴:
 導電性素材のシート抵抗を測定します
 非接触型で 対象物を傷つけずに測定が可能
 0.005 Ohms/sq から 100,000 Ohms/sqの間で4種類の範囲が有効
 絶縁層の影響を受けません
 移動する素材をリアルタイムで測定可能
 フィルム、ガラス、ウェーハ等で測定可能

S3 & 873 構成:
 厚みがある、もしくは立体形状の素材向けに作られた片手に収まる小型片面センサー
 高精度渦電流式抵抗値測定器
 シンプルな単一ボタン操作
 LCDディスプレイ
 設置面積が小さい

仕様:
反応レート: 25読み込み/1秒 あたり
最大ウェブ速度:1000 m/1分あたり
温度によるドリフト読取:最大解像度の0.25 %未満/1度あたり
サンプル最小サイズ:直径2.5 cm
サンプル最大厚:基板が非導電性であれば制限なし
ディスプレイの応答時間:プログラム化可範

測定範囲:以下図の通り

センサー寸法:

 

資料: 以下よりダウンロード頂けます。
S3-873 Datasheet – Japanese – 170719