ロータリーカソード等のスパッタ関連製品を取り扱っております
SCI 新製品, 注目の新製品
●CMカソード
CMカソードは、SCI製エンドブロックのラインナップ初の内径80㎜の小径ターゲットを搭載できるモデルです。ターゲット中心距離が、100㎜以上あれば、デュアル搭載が可能なモデルです。ターゲットフランジが交換できるようになっており、内径125㎜の標準的なターゲットも搭載可能です。チャンバー内に十分なスペースが無い場合は、非常に有効なツールです。
CM, 小径ターゲット SCJ
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