CM80カソード　（内径80㎜ターゲット用）

●CM80カソード

CM80カソードは、SCI製エンドブロックのサイドマウント型ラインナップの中で、唯一内径80㎜の小径ターゲットを搭載できるモデルです。ターゲット中心距離が、110㎜以上あれば、デュアル搭載が可能なモデルです。ターゲットフランジが交換できるようになっており、内径125㎜の標準的なターゲットも搭載可能です。チャンバー内に十分なスペースが無い場合は、非常に有効なツールです。