ロータリーカソード等のスパッタ関連製品を取り扱っております
SCI 新製品, 注目の新製品
●RAMーBAR
約3mの基板幅に対し、±0.5%以下のユニフォーミティーを実現します。スパッタプロセス中に、光ファイバーを使って信号を送り、マグネットバー内部のモーターに命令を与え、マグネットとターゲット間の距離を±250umの精度で調整します。その調整ポイントが約30㎝ごとにあり、究極の分布を実現します。
●PR動画
SCJ
バイポーラ/ユニポーラ パルス スパッタリング接続例 ドイツ・ADL社は、1992年に設立されたスパッタ用電源メーカーです。 特に、その...
記事を読む
●スイングカソード 従来のロータリーカソードは、基板が動くという前提でのみ使用可能でした。その為、静止対向型のバッチ型スパッタ装置には...
大型基板用 PECVDソース COPRA Linear Sources 特徴 -パワーレベルに比例したイオンエネルギーの上昇...
Zeige grösseres Bild HiPIMS + MF HiPIMS...
Options and accessories: Flexibility is our strength 様々なインターフェース...
以下円筒型ターゲットを提供可能です。 品名: 円筒型 Tb(テルビウム)ターゲット 材質:Tb (Terbium、テルビ...
概要: RF電源専用の特殊ロータリーカソードです。 今まで不可能だったRF電源による成膜を円筒カソードに応用する事が可能になりま...
以下ルテニウムスパッタリングターゲットをご提供可能です。 お気軽にお問い合わせ頂けましたら幸いです。。 ● 品名:Vital社製...
HXFは、特にセンシティブでダメージを受けやすい成膜向けに開発されました。その完全自動なアーク制御システムは、0.3mj/kW以下にそのアー...
GSWシリーズは、並列接続で、出力は最大240kWまで拡張可能です。特殊な回路設計により、「マスターースレイブ」の仲介システムは別途不要です...