分布±0.5％以下 RAM-BAR

●RAMｰBAR

約3mの基板幅に対し、±0.5％以下のユニフォーミティーを実現します。スパッタプロセス中に、光ファイバーを使って信号を送り、マグネットバー内部のモーターに命令を与え、マグネットとターゲット間の距離を±250umの精度で調整します。その調整ポイントが約30㎝ごとにあり、究極の分布を実現します。

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