ロータリーカソード等のスパッタ関連製品を取り扱っております
SCI 新製品, 注目の新製品
●RAMーBAR
約3mの基板幅に対し、±0.5%以下のユニフォーミティーを実現します。スパッタプロセス中に、光ファイバーを使って信号を送り、マグネットバー内部のモーターに命令を与え、マグネットとターゲット間の距離を±250umの精度で調整します。その調整ポイントが約30㎝ごとにあり、究極の分布を実現します。
●PR動画
SCJ
大型基板用 PECVDソース COPRA Linear Sources 特徴 -パワーレベルに比例したイオンエネルギーの上昇...
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純度: 99.9%組成比: Ti:AL:Cr:Zr:Hf:V=1:1:1:1:1:1 ...
アイテム: Fe30Cr33Mn10Sn10Zn10Ti2Ni2Cu2B1at%純度: 99.99%寸法: 126 mm 直...