SCI 新製品, 注目の新製品
●RAMーBAR
約3mの基板幅に対し、±0.5%以下のユニフォーミティーを実現します。スパッタプロセス中に、光ファイバーを使って信号を送り、マグネットバー内部のモーターに命令を与え、マグネットとターゲット間の距離を0.5umの分解能で調整します。その調整ポイントが約30㎝ごとにあり、究極の分布を実現します。
●PR動画
SCJ
幅218㎜、高さ222㎜という、非常に小型な設計は、特にキャビネットを必要とせず、直接装置に組み込む選択も可能です。HXシリーズは、...
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ドイツ・CCR社製、ICP方式のプラズマソースです。ヨーロッパのほぼすべての装置メーカーで、そのPVDアシスト用、またはPECVD用のプラズ...
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HXFは、特にセンシティブでダメージを受けやすい成膜向けに開発されました。その完全自動なアーク制御システムは、0.3mj/kW以下にそのアー...
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「GSシリーズ:GS05-GS30」は、 容量0.5 kWから 3 kWまでをカバーした全11型式がございます。主に研究開発用の小型スパッタ...
品名: 米国・Junora社製 円筒型 銀ターゲット 製造所:米国・Junora社について 旧Soleras 社のオーナー、...
品名: 米国・Junora社製 円筒型 ITO ターゲット (真空蒸着接合法) 製造所:米国・Junora社について 旧Solera...
概要: MICRO-200は、真空装置内で、2.45GHzのマイクロ波を使い、強制的にプラズマを発生させる装置です。従来型のスパッ...
以下ルテニウムスパッタリングターゲットをご提供可能です。 お気軽にお問い合わせ頂けましたら幸いです。。 ● 品名:Vital社製...