特徴：
-.デモ機のお貸出し可能です。お気軽にお問い合わせください。
-.真空中でのインライン測定、大気中での卓上測定、いずれも可能です。
-.従来型よりも、センサーの測定レンジが約400倍広い為、膜種や膜厚によってセンサーを取り替える必要がありません。
-.従来型の約50倍の速度で、測定します。
-.従来型の約2.4倍の分解能で測定します。
-.測定精度を、National Institute of Standards and Technology (NIST)の標準サンプルに対し、99.9％以上にまでキャリブレーション可能です。
仕様：
● 比抵抗 測定範囲
| センサー種 | 下限値（Ohm/square) | 上限値（Ohm/square) |
| 1 | 0.5 | 100,000 |
| 2 | 0.05 | 10,000 |
| 3 | 0.005 | 1,000 |
註：上記3種類のセンサーから、アプリケーションに応じ選択頂けます。
註：上記センサーのホルダーは互換性がある為、後から異なるセンサーに乗せ換え可能です。
●読み込み速度：40ｍＳ（ミリ秒）
●最小必要エリア：2.5㎝径
☆真空インライン式8チャンネルモデル
☆ 接続コンセプト：制御は、PLC, NetWork, スタンドアローンPCから選択可能
☆ 卓上式測定器： ガラス基板
☆卓上式測定器： シリコン基板
☆ 8チャンネルモデル拡大写真
☆ OEMセンサー
