SCI 新製品, 注目の新製品
内径80㎜の小径円筒ターゲットを搭載するドロップインタイプの小型ロータリーカソードです。
・平面カソードからの置き換えや、小型装置への搭載に適しています。 ・最大投入可能パワー:20kW DC電源またはMFAC電源 ・搭載可能最長ターゲット:1,000㎜ ・定期メンテナンス:1年あたり1時間(平均)
〇 搭載用フランジ図面 (デュアル搭載)
〇 CC80 全体図
〇 CC80 外観図
〇 CC80 OBサポートブロック (支え側)
SCJ
ドイツ・CCR社製、ICP方式のプラズマソースです。ヨーロッパのほぼすべての装置メーカーで、そのPVDアシスト用、またはPECVD用のプラズ...
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