基板3mで、分布±0.5%以下を達成する驚異のマグネットバー、RAM-BAR

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●RAMーBAR

約3mの基板幅に対し、±0.5%以下のユニフォーミティーを実現します。スパッタプロセス中に、光ファイバーを使って信号を送り、マグネットバー内部のモーターに命令を与え、マグネットとターゲット間の距離を0.5umの分解能で調整します。その調整ポイントが約30㎝ごとにあり、究極の分布を実現します。

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