注目の新製品
●RAMーBAR
約3mの基板幅に対し、±0.5%以下のユニフォーミティーを実現します。スパッタプロセス中に、光ファイバーを使って信号を送り、マグネットバー内部のモーターに命令を与え、マグネットとターゲット間の距離を0.5umの分解能で調整します。その調整ポイントが約30㎝ごとにあり、究極の分布を実現します。
●PR動画
SCJ
概要: MICRO-200は、真空装置内で、2.45GHzのマイクロ波を使い、強制的にプラズマを発生させる装置です。従来型のスパッ...
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概要: 新製品としてNi(ニッケル)専用特殊強磁場マグネットバーをリリースしました。 今まで不可能だったNi等強磁性体ターゲット...
●TCエンドブロック SCI社製エンドブロックの中で唯一の両もちタイプのエンドブロックです。両側とも58㎜の厚みでできている為...
●スイングカソード 従来のロータリーカソードは、基板が動くという前提でのみ使用可能でした。その為、静止対向型のバッチ型スパッタ...
概要: RF電源専用の特殊ロータリーカソードです。 今まで不可能だったRF電源による成膜を円筒カソードに応用する事が可能になりま...
SCI社は、ロータリーカソードの専業メーカーである為、他社では困難な様々なシュミレーションが可能です。 例えば以下は、円筒ターゲット上...
●CMカソード CMカソードは、SCI製エンドブロックのラインナップ初の内径80㎜の小径ターゲットを搭載できるモデルです。ター...
●矩形 カソード 米国・SAS社製プレーナーカソード 特徴: -特許技術により最大45%のターゲット使用効率を引き出し...
バイポーラ/ユニポーラ パルス スパッタリング接続例 ドイツ・ADL社は、1992年に設立されたスパッタ用電源メーカーです。 特...
特徴: -.デモ機のお貸出し可能です。お気軽にお問い合わせください。 -.真空中でのインライン測定、大気中での卓上測定、いずれも...