真空システムでの基板処理はコストがかかります。Arizona thin film research 社は、20年間の大面積薄膜成膜装置の設計およびプロセス開発の経験とCOMSOL Multiphysicsを活用して、新規生産システムまたは既存の生産システムを最適化を支援します。
コンサルタント契約によって提供されるサービス：
・COMSOL認定コンサルタントによるシュミレーション
・スパッタリングプロセスの最適化
・磁場モデリング
・成膜効率分析
・基板の熱分析
・ガス流れの計算と供給設計の分析
・反応性スパッタリングプロセス制御のモデリング
・真空ポンプの計算と設計分析
・構造解析
・R&D真空システムでの成膜/エッチングプロセスのテスト
・システム固有のプロセス計算とスループットの予測
・カスタム成膜またはエッチングソースの設計とテスト
・カスタムマグネットバーの設計と製造
・試作品作成のための3Dプリント
お気軽にお問合せいただけましたら幸いです。