「 新商品 」一覧

米国・SCI製 RF電源用 デュアルロータリーカソード 

米国・SCI製 RF電源用 デュアルロータリーカソード 

製品概要: 米国・SCI社と米国・Advanced Energy社が共同開発した、大面積・RF電源用デュアルロータリーカソードシス...

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米国・SCI製 入射角調整式 グリッドレス型リニアイオンソース「ALIS」

米国・SCI製 入射角調整式 グリッドレス型リニアイオンソース「ALIS」

アノード型リニアイオンソース(Anode Linear Ion Source: ALIS)の効果: 汚染物質を除去し、表面エネル...

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