「 Plasus社製 PEMモニター 」一覧
ドイツ・Plasus社製 のPEMモニターです。プラズマの光のスペクトルを監視しながら、最速のリアクティブプロセスを実現します。
ドイツ Plasus社製 スペクトル及びパルス監視システム「EMICON SA-HIPIMS 」
◯ はじめに 「EMICON SA-HIPIMS」は、特にHIPIMSプロセスに焦点を置いた「EMICON SA」のアップグレードモデル...
ドイツ・Plasus社製 PEMモニター 「EMICON SA」
特徴： ・SCI製ロータリーカソードで多数の実績 ・成膜レートを最大3倍に向上させる事も可能（例：SiO2のリアクティブ成膜） ...