「 ロータリーカソード 」一覧
米国・SCI製 RF電源用 デュアルロータリーカソード
製品概要： 米国・SCI社と米国・Advanced Energy社が共同開発した、大面積・RF電源用デュアルロータリーカソードシス...
米国・SCI製 アンバランスド マグネットバー 「UBM-TRM」
米国・SCI製 アンバランスド マグネットバー 品名：UBM-TRM-Type A 及び UBM-TRM-Type B ...
プロセスシュミレーション for ロータリーカソード
SCI社は、ロータリーカソードの専業メーカーである為、他社では困難な様々なシュミレーションが可能です。 例えば以下は、円筒ターゲット上...