米国・Delcom社製 非接触式抵抗値測定器 20J3

Delcom社製非接触抵抗値測定器

特徴:
-.デモ機のお貸出し可能です。お気軽にお問い合わせください。
-.真空中でのインライン測定、大気中での卓上測定、いずれも可能です。
-.従来型よりも、センサーの測定レンジが約400倍広い為、膜種や膜厚によってセンサーを取り替える必要がありません。
-.従来型の約50倍の速度で、測定します。
-.従来型の約2.4倍の分解能で測定します。
-.測定精度を、National Institute of Standards and Technology (NIST)の標準サンプルに対し、99.9%以上にまでキャリブレーション可能です。

仕様:
● 比抵抗 測定範囲

センサー種 下限値(Ohm/square) 上限値(Ohm/square)
1 0.5 100,000
2 0.05 10,000
3 0.005 1,000

註:上記3種類のセンサーから、アプリケーションに応じ選択頂けます。
註:上記センサーのホルダーは互換性がある為、後から異なるセンサーに乗せ換え可能です。

●読み込み速度:40mS(ミリ秒)
●最小必要エリア:2.5㎝径

☆真空インライン式8チャンネルモデル

Delcom社製非接触式抵抗値測定器

☆ 接続コンセプト:制御は、PLC, NetWork, スタンドアローンPCから選択可能

☆ 卓上式測定器: ガラス基板

☆卓上式測定器: シリコン基板

☆ 8チャンネルモデル拡大写真

☆ OEMセンサー