ドイツ・ADL社製 空冷式スパッタ電源 「GSシリーズ:GS05-GS30」

「GSシリーズ:GS05-GS30」は、 容量0.5 kWから 3 kWまでをカバーした全12型式がございます。主に研究開発用の小型スパッタ装置をターゲットにした製品です。異常放電(アーキング)は、完全自動で制御されますので、従来電源の様にプロセスごとに制御設定に悩む必要はございません。また、本GSシリーズは、強制空冷方式を採用しています。コントローラーを直接つないでの手動コントロール、あるいはコミュニケーションインターフェースを通じてスパッタ装置本体からの遠隔コントロール、いずれも可能です。

資料: カタログは以下よりダウンロード可能です。
Datasheet GS 05-30_fin-07-2022_0

特徴
モード:電圧固定モード(U)、電流固定モード(I)、パワー固定モード(P)を選択可能
出力: 0.5 – 3 kW (全12モデル)
冷却方式:強制空冷
小型設計: 高さ112x幅210x奥行512
インターフェース:様々な種類を選択可能
ディスプレイ:電流、電圧、パワー表示
制御:フロントパネル経由手動制御、装置本体経由遠隔制御
異常放電:完全自動制御

註:3kW以上の空冷式スパッタ電源は、以下をご参照ください。
「GSシリーズ:GS60-GS150」

型式 DC-出力 パーツ番号
GS 05/800 0.5 kW 800 V 0.9 A 03Z040
GS 10/800 1.0 kW 800 V 1.7 A 03Z090
GS 15/800 1.5 kW 800 V 3.0 A 03Z140
GS 20/800 2.0 kW 800 V 3.5 A 03Z190
GS 30/800 3.0 kW 800 V 5.3 A 03Z240
GS 05/1000 0.5 kW 1000 V 0.7 A 03Z050
GS 10/1000 1.0 kW 1000 V 1.4 A 03Z092
GS 15/1000 1.5 kW 1000 V 2.4 A 03Z150
GS 20/1000 2.0 kW 1000 V 2.8 A 03Z200
GS 30/1000 3.0 kW 1000 V 4.2 A 03Z250
GS 12/2000 1.2 kW 2000 V 1.0 A 03Z110


ADL: バイポーラパルスドDC電源
パワー固定モードでのメタルスパッタからリアクティブスパッタへの様子


ADL: バイポーラパルスドDC電源
電圧固定モードでのメタルスパッタからリアクティブスパッタへの様子


ADL: バイポーラパルスドDC電源 リアクティブプロセス 電圧固定モード
一定の酸素供給量で基板位置による出力(P)の自動調整


ADL: バイポーラパルスドDC電源 リアクティブプロセス 電圧固定モード
基板位置による酸素供給量の自動調整で、安定した出力値(P)