米国・SIERRA APPLIED SCIENCES社製　高使用効率　プレーナーカソード

●矩形　カソード

米国・SIERRA APPLIED SCIENCES社製プレーナーカソード

特徴：
-特許技術により最大45％のターゲット使用効率を引き出します。
-矩形、ラウンド形いずれの形状もカスタマイズで製作致します。
-特に、Co系、Ni系、Fe系の磁性ターゲット専用カソードを得意としています。

SAS社製プレーナーカソード 資料1

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●矩形カソード内部構造

●磁性体ターゲットの使用効率例

●ラウンド形　カソード

●ラウンド形　カソード内部構造

●最大45％のターゲット使用効率