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静止対向スパッタ用、サイドマウント型スイングカソード、型式「SMS, MMS, CMS」

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●スイングカソード 従来のロータリーカソードは、基板が動くという前提でのみ使用可能でした。その為、静止対向型のバッチ型スパッタ装置にはロー...

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