SCI社は、ロータリーカソードの専業メーカーである為、他社では困難な様々なシュミレーションが可能です。
例えば以下は、円筒ターゲット上での磁場の立ち方をシュミレーションしています。それによって適切なアノード設置位置をより効率的にご提案可能です。
また、どのような状態で円筒ターゲット上にプラズマが立つのか、そういったこともシュミレーション可能です。
更に、円筒ターゲット中で、どのように冷却水が流れ、ターゲットの表面温度がどの程度になっているのか、そういったことも解析可能です。
ロータリーカソードを使用する上で、奇異な現象が発生している場合や、プロセス上どうしても解決できない問題等がある場合、どうぞお気軽にご相談頂けましたら幸いです。
