ロータリーカソード等のスパッタ関連製品を取り扱っております
SCI 新製品, 注目の新製品
●RAMーBAR
約3mの基板幅に対し、±0.5%以下のユニフォーミティーを実現します。スパッタプロセス中に、光ファイバーを使って信号を送り、マグネットバー内部のモーターに命令を与え、マグネットとターゲット間の距離を0.5umの分解能で調整します。その調整ポイントが約30㎝ごとにあり、究極の分布を実現します。
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SCJ
概要:新製品としてNi(ニッケル)専用特殊強磁場マグネットバーをリリースしました。今まで不可能だったNi等強磁性体ターゲットの成膜を円筒カ...
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