静止対向スパッタ用、サイドマウント型スイングカソード、型式「SMS, MMS, CMS」

●スイングカソード

従来のロータリーカソードは、基板が動くという前提でのみ使用可能でした。その為、静止対向型のバッチ型スパッタ装置にはロータリーカソードは使えないという欠点がございました。

このスイングカソードは、内部のマグネットバーが首ふり扇風機のように左右に揺動します。このスイングカソードを複数本並べることによって、従来不可能であった静止した基板に対し、±2％以下の分布と共に、ロータリーカソードの最大の利点である、70％以上のターゲット使用効率の両方を実現します。
また、立体物への成膜においても、マグネットを揺動させることにより、従来影になる箇所への材料の回り込みを促進させ、分布の向上を期待できます。
更に、マグネットを反転させることで、本生産前に、ダミー基板を消費することなく、ターゲットのクリーニングが可能となります。

●　モデル
以下三種類のサイドマウント型スイングカソードをご用意しております。

型式	投入可能パワー	投入可能　電圧/電流	搭載可能最長ターゲット
SMS	200 kWまでの DC もしくはMFAC	1500 V / 450 A	4000 mm
MMS	100 kWまでの DCもしくはMFAC	1500 V / 225 A	2500 mm
CMS	20 kWまでの DCもしくはMFAC	1500 V / 50 A	1000 mm

上記サイドマウント型スイングシリーズに加え、最新型として、ドロップイン型MCSもリリースしました。
註：サイドマウントは、エンドブロックが大気側に露出し、一方ドロップイン型はエンドブロックが真空側に配置されます。

● 分布実績

±1%以下の膜厚均一性
スイングさせなかった場合、±16%だった膜厚ばらつきが、Swing Cathode™では±1%まで改善しました。

●　内部構造

Swing Cathode™は、ターゲットチューブの回転に加え、マグネットバーをプログラム可能な動きでスイングさせることで、従来の静的成膜方式を超える均一性と材料利用効率を実現します。
単に連続的な揺動はもちろん、サーボモーターの、ある角度での停止時間・角度間移動速度・ステップ数を緻密に制御することにより、最適な成膜プロファイルを実現します。
さらには、例えば、OLED（有機EL）層へのダメージを極限まで軽減させる為に、マグネットアングルをモニタリングしながら、最適な入射角の検証に寄与します。

●　多様なカソード構成に対応

2本から12本カソード構成、短尺・長尺基板、定電力・可変電力モード、垂直搭載、水平搭載、斜め搭載、如何様にも対応可能です。
また、全カソードをDCストレートシングルで構成することはもちろん、リアクティブプロセスの為に、MFACまたはバイポーラーパルスDCで、偶数数カソードを、2基づつペアで配置することも可能です。