概要：
RF電源専用の特殊ロータリーカソードです。
今まで不可能だったRF電源による成膜を円筒カソードに応用する事が可能になります。
これにより、円筒セラミックターゲット等の非導電性ターゲットのスパッタや、DC電源とRF電源を重畳させる事による、ITO等の透明電極膜の低抵抗化を期待できます。
ご興味頂けましたらどうぞお気軽にお問合せください
●RF電源用特殊ロータリーカソード
品名：Rotary RF
特徴
-.円筒セラミックターゲット等、非導電性ターゲットの成膜コスト低減
-.DC電源とRF電源を重畳させる事による、ITO等の透明導電膜の低抵抗化
-.RF電源による損傷を回避した特殊ドライブ機構
-.RF電源特有のスキンエフェクトに対する分布悪化を補う特殊機構
-.650㎜長のターゲットで、DC電源に匹敵する±2％以下の膜厚分布
註：ターゲットが長くなればなるほど、分布が低下する可能性がございます。
