以下ルテニウムスパッタリングターゲットをご提供可能です。
お気軽にお問い合わせ頂けましたら幸いです。。
● 品名：Vital社製 円筒 Ru (Ruthenium: ルテニウム）ターゲット
材質： ルテニウム
純度: 99.9%以上
純度: 99.9%以上
製法: 焼結リングターゲットのバッキングチューブへのボンディング
リングターゲット長：100㎜
ターゲット全体長：最長4000㎜まで
ターゲット厚み：標準7㎜ （相談可）
バッキングチューブ寸法：内径125㎜ｘ外径133㎜
バッキングチューブ材質：SUSもしくはTi（チタン）
ターゲット全体長：最長4000㎜まで
ターゲット厚み：標準7㎜ （相談可）
バッキングチューブ寸法：内径125㎜ｘ外径133㎜
バッキングチューブ材質：SUSもしくはTi（チタン）
特記事項：平面（プレーナー）形状でのご提供も可能です。
