特殊ロータリーカソード 「IM-External Mount End Block」
●特徴
１．ターゲットは回転しません。
２．内部のマグネットバーのみが360度継続回転します。
３．内径125㎜のターゲット（標準タイプ）、内径80㎜ターゲット（小径タイプ）、いずれも搭載可能です。
●使用例
１．円筒状基材の、内壁面への成膜
２．ターゲットの中心から、TTS距離をおいたその同心円上に配置した基材への成膜
●アプリケーション例
１．工具成膜
２．装飾成膜
●仕様
投入可能な最大パワー： 60kW (DCもしくはMFAC）
投入可能な最大電圧：1500V
投入可能な最大電流：150A
搭載可能な最長ターゲット：2000㎜
メンテナンス：1時間／年 （回転シール交換の為）
●外径図例
ターゲット内径125㎜の場合：
ターゲット内径80㎜の場合：
