「 SCI 新製品 」一覧
米国・Sputtering Components, Inc. (SCI) 製ロータリーカソード関連の新製品です。
米国・SCI製 RF電源用 デュアルロータリーカソード
製品概要： 米国・SCI社と米国・Advanced Energy社が共同開発した、大面積・RF電源用デュアルロータリーカソードシス...
米国・SCI製 入射角調整式 グリッドレス型リニアイオンソース「ALIS」
アノード型リニアイオンソース（Anode Linear Ion Source: ALIS）の効果： 汚染物質を除去し、表面エネル...
米国・SCI製 アンバランスド マグネットバー 「UBM-TRM」
米国・SCI製 アンバランスド マグネットバー 品名：UBM-TRM-Type A 及び UBM-TRM-Type B ...
SCI製ロータリカソード部品： 外径137mm用 特殊ターゲットクランプ
●品名： SCI製ロータリカソード部品： 外径137mm用 特殊ターゲットクランプ アプリケーション：モノリシック（一体物）製法による...
ドロップイン型 MCスイングカソード モデル名：MCS
特徴： エンドブロック（回転駆動部）が真空層に入るドロップインタイプのMCシリーズに、スイング機能を追加搭載した新型モデルとなります。真...
特殊ロータリーカソード 「IM-External Mount End Block」
特殊ロータリーカソード 「IM-External Mount End Block」 ●特徴 １．ターゲットは回転しません。 ２．内...
世界最小クラス・内径80㎜用ロータリーカソード「CC80」
内径80㎜の小径円筒ターゲットを搭載するドロップインタイプの小型ロータリーカソードです。 ・平面カソードからの置き換えや、小型装置への...
プロセスシュミレーション for ロータリーカソード
SCI社は、ロータリーカソードの専業メーカーである為、他社では困難な様々なシュミレーションが可能です。 例えば以下は、円筒ターゲット上...
RF電源用特殊ロータリーカソード「Rotary RF」
概要： RF電源専用の特殊ロータリーカソードです。 今まで不可能だったRF電源による成膜を円筒カソードに応用する事が可能になりま...
強磁性体ターゲット（Ni、Fe等）専用特殊強磁場マグネットバー 「ARM BAR」
概要：新製品として強磁性体ターゲット（Ni, Fe等）専用特殊強磁場マグネットバーをリリースしました。今まで不可能だったNi等強磁性体ター...