「 注目の新製品 」一覧
ドイツ・Robeco社製 プラズマ発生装置 「MICRO-200-CI-VA-P20/P30」
概要： MICRO-200は、真空装置内で、2.45GHzのマイクロ波を使い、強制的にプラズマを発生させる装置です。従来型のスパッ...
米国・SIERRA APPLIED SCIENCES社製 高使用効率 プレーナーカソード
●矩形 カソード 米国・SIERRA APPLIED SCIENCES社製プレーナーカソード 特徴： -特許技術により...
ドイツ・Plasus社製 PEMモニター 「EMICON SA」
特徴： ・SCI製ロータリーカソードで多数の実績 ・成膜レートを最大3倍に向上させる事も可能（例：SiO2のリアクティブ成膜） ...
ドイツ・CCR社製 大型基板用PECVD「COPRA Linear Sources」
大型基板用 PECVDソース COPRA Linear Sources 特徴 -パワーレベルに比例したイオンエネルギーの上昇...
米国・Delcom社製 非接触式抵抗値測定器 20J3
特徴： -.デモ機のお貸出し可能です。お気軽にお問い合わせください。 -.真空中でのインライン測定、大気中での卓上測定、いずれも可能です...
プロセスシュミレーション for ロータリーカソード
SCI社は、ロータリーカソードの専業メーカーである為、他社では困難な様々なシュミレーションが可能です。 例えば以下は、円筒ターゲット上...
RF電源用特殊ロータリーカソード「Rotary RF」
概要： RF電源専用の特殊ロータリーカソードです。 今まで不可能だったRF電源による成膜を円筒カソードに応用する事が可能になりま...
強磁性体ターゲット（Ni、Fe等）専用特殊強磁場マグネットバー 「ARM BAR」
概要：新製品として強磁性体ターゲット（Ni, Fe等）専用特殊強磁場マグネットバーをリリースしました。今まで不可能だったNi等強磁性体ター...
世界最小クラス 新型ロータリーカソード cMC
SCI社がこの度最新型のロータリーカソードをリリースしました。世界最小クラスの片持ち式ロータリーカソード、型式cMCです。既存製品のMC-D...
静止対向スパッタ用、サイドマウント型スイングカソード、型式「SMS, MMS, CMS」
●スイングカソード 従来のロータリーカソードは、基板が動くという前提でのみ使用可能でした。その為、静止対向型のバッチ型スパッタ装置にはロー...