「 SCI 新製品 」一覧

世界最小クラス 新型ロータリーカソード cMC

世界最小クラス 新型ロータリーカソード cMC

SCI社がこの度最新型のロータリーカソードをリリースしました。世界最小クラスの片持ち式ロータリーカソード、型式cMCです。既存製品のMC-D...

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静止対向スパッタ用、サイドマウント型スイングカソード、型式「SMS, MMS, CMS」

静止対向スパッタ用、サイドマウント型スイングカソード、型式「SMS, MMS, CMS」

●スイングカソード 従来のロータリーカソードは、基板が動くという前提でのみ使用可能でした。その為、静止対向型のバッチ型スパッタ装置にはロー...

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片側58㎜TCC

片側58㎜TCC

●TCエンドブロック SCI社製エンドブロックの中で唯一の両もちタイプのエンドブロックです。両側とも58㎜の厚みでできている為、プレー...

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CM80カソード (内径80㎜ターゲット用)

CM80カソード (内径80㎜ターゲット用)

●CM80カソード CM80カソードは、SCI製エンドブロックのサイドマウント型ラインナップの中で、唯一内径80㎜の小径ターゲットを搭...

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分布±0.5%以下 RAM-BAR

分布±0.5%以下 RAM-BAR

●RAMーBAR 約3mの基板幅に対し、±0.5%以下のユニフォーミティーを実現します。スパッタプロセス中に、光ファイバーを使って信号...

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