「 SCI 新製品 」一覧
世界最小クラス 新型ロータリーカソード cMC
SCI社がこの度最新型のロータリーカソードをリリースしました。世界最小クラスの片持ち式ロータリーカソード、型式cMCです。既存製品のMC-D...
静止対向スパッタ用、サイドマウント型スイングカソード、型式「SMS, MMS, CMS」
●スイングカソード 従来のロータリーカソードは、基板が動くという前提でのみ使用可能でした。その為、静止対向型のバッチ型スパッタ装置にはロー...
